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超高纯气体过滤器

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超高纯气体过滤器

超高纯气体过滤器

3A-GC™-TK超高纯气体过滤器3A-GC™-TK超高纯气体过滤器系列产品超高精度可达0.0025um,是工业过滤净化领域中精度超高的产品,本系列产品都是在十万级无尘车间内精密制造而成,具有高精度、耐高温高压的特性,主要应用于食品、电子、科研、化工等领域。

  3A-GC™-TK超高纯气体过滤器

  3A-GC™-TK超高纯气体过滤器系列产品超高精度可达0.0025um,是工业过滤净化领域中精度超高的产品,本系列产品包括

煤层气过滤器都是在十万级无尘车间内精密制造而成,具有高精度、耐高温高压的特性,主要应用于食品、电子、科研、化工等

领域。


产品性能参数    


  产品特点

  ■应用范围广,流量范围从15到300SL/min。

  ■与大多数高纯度半导体工艺气体具有良好的兼容性。

  ■3纳米颗粒过滤能力保持高流量效率,超小压降。

  ■5Ra电抛光表面可防止内部污染。

  ■在去离子水清洗后用热氮气烘烤,以满足半导体工艺标准。

  ■100万级无尘无菌车间制造,清洁和包装环境。

  ■测试氦泄漏。


 

 

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