3A-GC™-TK超高纯气体过滤器
3A-GC™-TK超高纯气体过滤器系列产品超高精度可达0.0025um，是工业过滤净化领域中精度超高的产品，本系列产品包括
煤层气过滤器都是在十万级无尘车间内精密制造而成，具有高精度、耐高温高压的特性，主要应用于食品、电子、科研、化工等
领域。
产品性能参数
产品特点
■应用范围广，流量范围从15到300SL/min。
■与大多数高纯度半导体工艺气体具有良好的兼容性。
■3纳米颗粒过滤能力保持高流量效率，超小压降。
■5Ra电抛光表面可防止内部污染。
■在去离子水清洗后用热氮气烘烤，以满足半导体工艺标准。
■100万级无尘无菌车间制造，清洁和包装环境。
■测试氦泄漏。
